近日,杭州富加鎵業(yè)科技有限公司在氧化鎵MOCVD同質(zhì)外延技術(shù)方面再次取得突破,經(jīng)國(guó)家權(quán)威檢測(cè)機(jī)構(gòu)——中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院測(cè)試表明,厚度超10μm的氧化鎵同質(zhì)外延片載流子濃度為4.2E16cm-3,遷移率達(dá)到181.6cm2/V·s?;贛OCVD技術(shù)的高質(zhì)量氧化鎵同質(zhì)外延片的研制成功,將有效助力氧化鎵高壓大功率電力電子器件產(chǎn)業(yè)的快速落地。
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